1將真空泵和除害裝置的運(yùn)行成本削減20％以上

 美國應(yīng)用材料公司發(fā)布了能夠削減制造裝置附帶的真空泵及除害裝置等的能源消耗量钠怯，將運(yùn)行成本較原來削減20%以上的系統(tǒng)“Applied iSYS”模鹿。首先將面向該公司的CVD裝置提供，將來還計劃應(yīng)用于蝕刻裝置。

Applied iSYS根據(jù)制程艙內(nèi)的情況控制真空泵和除害裝置的運(yùn)行裙都。比如渠缕，應(yīng)用于CVD裝置時庭走，在成膜時及清潔時運(yùn)行真空泵和除害裝置癣吝，其他時間使其處于備用狀態(tài)。這樣窘携，可減少用電量及煤氣用量等冒瞎。應(yīng)用于半導(dǎo)體工廠的全部CVD工序時，每年可削減真空泵和除害裝置等的運(yùn)行成本200萬美元以上杀终。

據(jù)應(yīng)用材料公司介紹洛怠，大型半導(dǎo)體廠商已相繼提出能源削減目標(biāo)。在半導(dǎo)體工廠的能源消耗中息聪，制造裝置占45%眉崩，制造裝置所附帶的裝置占42%，其余13%來自照明等

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